Camfil首次亮相SEMICON China

3月14-16日,Camfil中国携半导体领域洁净空气解决方案和最新产品首次亮相SEMICON China展会。

作为全球最大、影响面最广的集技术、产业、投资于一身的半导体产业盛会,SEMICON China吸引了全球行业精英汇聚上海。结合中国半导体产业特点和全球半导体产业发展趋势,SEMICON China 2017包括了四大专题展区:IC制造、LED及蓝宝石、集成电路材料产业联盟及MEMS专区。是SEMI为中国乃至全球半导体产业链上下游交流合作而打造的首选平台。同期举办的多场高端论坛和技术研讨会,探讨全球产业趋势、前沿技术和市场机会,提供了一个行业最佳交流平台。

 

  

SEMICON China

本次展会,Camfil展出了一系列面向半导体和平板显示行业应用的专业产品: 

 1.新一代风机过滤单元-FabSafe FFU
采用优化气流流型的箱体结构,配合高性能风机,具有高静压、高稳定性、控制灵活等特点。与之配套的Camfil HEPA/ULPA过滤器为业内顶尖产品,每一片都经过MPPS逐点扫描测试,品质可靠。该系列产品已被中芯国际、康宁等国内知名客户选用。

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2.Gigapleat系列产品
在AMC 微污染控制领域,作为Camfil洁净室末端AMC控制的终极解决方案受到广泛关注。该产品适应先进制程和技术节点的发展要求,处理超低浓度AMC,全面保护制程和工艺,是微污染控制领域客户首选的解决方案。目前已被台积电、英特尔、中芯国际等全球高端客户选用。

 
3.大吸附容量分子过滤器产品系列-CamCarb
在中国普遍背景污染物浓度超高的恶劣环境下,CamCarb是有效减少外部污染源的解决方案,在半导体行业的高端客户当中有很多应用。

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4.紧凑型一体化空气净化机组cc6000 
除了工艺洁净领域,此款全新推出的空气净化机组可满足人员和环境的健康要求。风量最高6000CMH,适用面积最大1500m2,可落地或吊装使用,集成初效、高效及化学过滤器。采用进口EC节能风机,可以用于大空间厂房净化、局部净化升级等。

 

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此外,在同期举办的绿色厂务论坛中,Camfil受邀做了题为AMC Control and Energy SavingFor Advanced Fabs的专题介绍,向参会的众多厂务经理分享了Camfil针对半导体行业主要工艺流程中AMC污染的解决方案,微污染控制领域分子过滤器测试和评判的重要性, ISO10121分子过滤器测试台标准等内容,同时还介绍了如何开展空气过滤器运行优化和节能设计的绿色环保实践。


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近年来中国半导体行业面临一个前所未有的发展机遇。通过此次展会和周边活动,Camfil向市场宣告了在半导体行业深耕发展的雄心和意志,增强了客户和经销商对Camfil的信心,这将是Camfil在这一重要细分市场的新起点。

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